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一尘不染的银白色设备在冷光下散发出奇妙无机质的机械美。

    机械表面很平静,盛明安等人看不到内部正在发生的变化,他们只能通过最终结果判断是否成功,而过程很短暂、很快速,快到频率一秒五万次!

    盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化,它切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看实验。

    视角先是银白色的机械,瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备,时间和空间被虚化,内部一片黑暗,若鸿蒙未开的混沌宇宙。

    突然前方一个闪亮的光点,先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈,圆圈中心一点亮光逐渐向外?扩张,由圆点扩张成椭圆形,光越来?越盛、越来?越亮,猛然爆发出闪亮耀眼的白光,瞬间照亮黑暗的内部,一条细长发亮的紫光倏然蹿出发光口,通过圆形长管,进入光束矫正器,通过能量转换器……

    最终击中直径30μm的靶材料(锡液滴)。

    视角追随其中一条光线,忽然向后拉远,视角范围内出现?数以万计的紫色细长光线穿过一个又?一个圆形长管最后以平均两次击中同?一靶材料电离锡原子,释放等离子体?,激发纳米级光子,完成光刻机的曝光步骤。

    视角再向后拉远,饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由为这?号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。

    激光经过多?重反射镜均匀化、收集,投影掩膜,击中靶材料,获取需求中的等离子体?。

    接下来?是利用收集镜收集等离子体?发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统,并经由曝光系统获取最终的ic晶圆。

    但盛明安的团队没有做后面的两步,只设计了光源系统的实验设计。

    一秒钟五万次的高频率,不仅需要确保过程不出错,还必须保证准度、精确度,可量产,以及功率利用最大化等等……

    所以一次的实验结果不能证明什么,他们连续实验多?次,记录数据作比对,计算出一个最优概率。

    键盘噼里啪啦的计算,所有人屏息以待。

    助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊,龇牙咧嘴:“giao!怎么样了?!”

    杜颂也疼得龇牙咧嘴,差点猛男落泪:“我?不知道。”

    助手姑娘又?没想要他回答,眼睛悄悄溜向盛明安,内心呜呜穿防尘服的盛工就算从头包到脚还是无比帅气,所以快点告诉她结果吧!

    盛明安:“各组报告结果。”




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